FDC 即時製程偵測系統

FDC 系統透過深度分析設備感測器數據,實現異常精準偵測與自動化分類。除具備基準建模、即時監控與彈性參數設定外,更導入 AI 自動分段技術,將複雜製程細分以優化動態管制界限,極小化誤報風險。結合直觀的可視化儀表板,助工程人員迅速定位根因,實現高效的故障管理與決策。

  • 半導體產業 : 晶圓製造、高階封裝測試(CoWoS/InFO)、第三代半導體(SiC/GaN)
  • 光電面板產業 : TFT-LCD、OLED、Micro-LED、OLEDoS、CMOS
  • 關鍵載具與精密清洗 : EUV Pod、FOUP、大尺寸基板清洗設備
  • 高階精密加工 : 對微環境、壓力、流量極度敏感的先進監控需求。

FDC 設計理念:從被動應對到主動預防

利用設備的感應資料,偵測製程的健康狀態,
並且快速判斷造成製程異常的原因。

異常定位

提供強大的分析工具,加速根本原因分析,找出問題癥結。

資料梳理

有效處理海量數據,建立清晰的資料結構。

數據呈現

將複雜的參數變化轉化為直觀的視覺圖表。

異常偵測

即時監控製程指標與曲線變化,迅速定位製程偏移。

深度分析工具,加速根本原因的探尋

發現問題只是第一步。
FDC 內建多元的進階分析模組,幫助企業快速從「發生什麼事」進展到「為什麼發生」

智慧設定與基準建立

FDC 彈性且強大的設定功能,能為每個製程建立清晰的「正常」基準。

關鍵參數設定 監控指標定義 管制界線模擬 控制規則配置

即時監控與智慧警報

全天候自動化監控採用雙重模式(Profile 曲線與各階段的 SPC 指標),確保任何製程偏移都能被即刻捕捉。

智慧標示 即時通知

設備比對分析

在擁有多台同型設備的工廠中,維持一致性是最大的挑戰之一。

視覺化差異 - Profile 曲線 數據化佐證 - p-value 找出效能異常的特定設備

自動化設備製程分段

FDC 運用嚴謹的統計方法與 AI 演算法,可依據製程資料的特徵,自動模擬並建議最佳的製程分段。

省時省力 數據驅動 視覺化驗證

太引資訊 FDC:從參數監控進化為「智慧良率防衛系統」

太引資訊發揮品質良率管理領域的深厚積澱,賦予 FDC 數據更高層次的戰略價值,助企業實現從「設備穩定」跨越到「極致良率」。

核心競爭優勢

優勢維度 技術核心 客戶價值
數據關聯引擎 整合 FDC Trace 與後端測試數據 (WAT/CP/FT) 良率溯源 (Yield-Centric RCA):直觀呈現參數偏移對最終良率的影響。
AI 高維特徵分析 自研非線性演算法,自動提取波形物理特徵 精準預警:識別傳統統計法無法偵測的微小異常,預防設備故障風險。
閉環自動化決策 結構化 OCAP 流程與設備即時互鎖 (Interlock) 持續優化:透過工程師回饋機制強化判定邏輯,極小化誤報與漏報。
高彈性平台架構 模組化設計與深度客製化開發實力 精準適配:針對不同製程環境量身定制監控模型,快速導入生產線。

全方位數據整合:從極致採集到雙向診斷

太引 FDC 深度整合 AYEDAS/YMS 系統,打破資訊孤島,讓分析工作流一氣呵成。

跨系統無縫協作:設備與品質的雙向溯源
  • :偵測參數異常時,即時關聯受影響批號,評估品質風險。
  • :發現產品瑕疵時,快速定位生產當下的設備參數與異常根因。
  • :消除平台切換的延遲,實現極速診斷與精準決策。
多樣化設備兼容:分級數據採集方案

無論新舊設備,我們皆能提供對應的數據對接方案,確保監控無死角。

設備等級 技術方案 核心優勢
先進智慧設備 高速數據公路 利用獨立於生產控制的高速通道,實現每秒百次(10Hz+)的高頻採樣。滿足大數據建模與 AI 根因分析所需的極致精度。
主流自動化設備 標準通訊整合 SECS/GEM (EAP) 標準化鏈結,穩定擷取製程參數與事件訊息。透過太引優化的數據處理引擎,有效解決傳統通訊易塞車的痛點,確保報警即時不延遲。
傳統與成熟設備 數據精細化轉型 PLC/PC Base 直接存取與智慧虛擬分段技術。
純機械與非通訊設備 賦予感知能力 在機台外部加裝電流夾、震動感測器或壓力計,訊號不經過機台電腦,直接數位化。這是實現老廠翻新、設備預防性維護(PdM)最直接高效的途徑。

開始將您的數據轉化為真正的競爭優勢

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