AYEDAS

最快速能找到良率问题的解决方案 – 高效 , 准确掌握影响质量与良率的各种因子 Advanced Yield Enhancement Data Analysis System

提供专属、高效的 Data Query Interface,大幅节省工程人员于分析前所受困的「资料整合」问题
卓越的工程数据库设计
  • 专为制造业设计的数据分析平台,让各式生产数据完整整合,客户可以实时取得制造过程中每一环节数据做分析,加速各厂区、各阶层使用者的沟通与决策。
  • 无论数据来自 MES、ERP , EAP 系统或机台自动上抛 Data File,所有人、机、料、法、环各个环节的信息,皆于收集数据的同时,自动维护数据之间的关联性,使得各式相关性分析能维持高效能。
量身订做的数据选取引擎
  • AYEDAS 系统依据数据属性,可归纳出多种数据搜寻入口,涵盖制造履历数据、量测数据、AOI 检测数据、生产机台数据等,分门别类,自动串接数据,用户入手容易。
  • 客户厂内惯用专有名称可以套用至用户接口,减少用户对选项名称的误解与困扰,使用者使用无障碍。
  • 具有弹性的数据搜寻接口,用户只需以点选方式即可轻易取得各种整合完善的数据集,再也不用浪费时间在数据汇整,可以更专注于数据分析与问题的解决。
EDA/YMS 数据平台设计的领导者
  • 工程数据数据量庞大,传统用 Relational Database 的储存方式,对于长时间数据量的分析工作常遭遇效率问题甚至无法执行成功。另一方面较长时间以前的 Cold Data 虽然不常被分析到,却维护成本极高。 太引的数据平台,解决困扰客户许久的数据的分析效率 , 一年以上的过时数据管理,不再感到困扰。不管是软硬件上的投资成本,也更具经济效益 !

卓越的工程数据库设计

  • 专为制造业设计的数据分析平台,让各式生产数据完整整合,客户可以实时取得制造过程中每一环节数据做分析,加速各厂区、各阶层使用者的沟通与决策。
  • 无论数据来自 MES、ERP , EAP 系统或机台自动上抛 Data File,所有人、机、料、法、环各个环节的信息,皆于收集数据的同时,自动维护数据之间的关联性,使得各式相关性分析能维持高效能。

量身订做的数据选取引擎

  • AYEDAS 系统依据数据属性,可归纳出多种数据搜寻入口,涵盖制造履历数据、量测数据、AOI检测数据、生产机台数据等,分门别类,自动串接数据,用户入手容易。
  • 客户厂内惯用专有名称可以套用至用户接口,减少用户对选项名称的误解与困扰,使用者使用无障碍。
  • 具有弹性的数据搜寻接口,用户只需以点选方式即可轻易取得各种整合完善的数据集,再也不用浪费时间在数据汇整,可以更专注于数据分析与问题的解决。

EDA/YMS 数据平台设计的领导者

  • 工程数据数据量庞大,传统用 Relational Database 的储存方式,对于长时间数据量的分析工作常遭遇效率问题甚至无法执行成功。另一方面较长时间以前的 Cold data 虽然不常被分析到,却维护成本极高。 太引的数据平台,解决困扰客户许久的数据的分析效率 , 一年以上的过时数据管理,不再感到困扰。不管是软硬件上的投资成本,也更具经济效益 !

满足制程自我健康检查与深度分析需求

  • AYEDAS 系统整合了人、机、料、法、环各个环节的信息来探索制程中的变异,也提供相对应完整的图表分析工具,以满足各种分析需求。
  • 可检视数据分布状况、寻找变异发生的关键点、比较机台差异、探索参数间的相关性及共通性分析等,让制程中可能发生问题的所有可疑点无所遁形。
  • 提供数据处理模块,所有分析运算都能于此平台完成,让您轻松将捞取的数据汇整成摘要报表,或是进行较复杂特殊的数据运算或预处理。

独创之多样化统计图表

  • 为了满足持续改善的工程数据分析需求,AYEDAS 系统上所有图形皆由 TYNE 自行开发,以利图表可随用户需求而弹性变化,每种图表皆有数十个选项可供调整,以产出最符合使用者需求的呈现方式。
  • AYEDAS 系统提供基本经常使用的统计图形,如:圆饼图、直方图、直方图、柏拉图、盒形图、趋势图、散布图、制程能力图等;为满足进阶的分析需求,AYEDAS 系统也提供进阶且实用的统计图形可供选择,如:累积分配函数图、密度函数图、常态机率图等,全方位符合不同应用的使用者需求。
  • 以 TYNE 多年产业导入经验与统计技术专业,延伸出多种变形使用的统计图形,如:堆栈直方图、分群直方图、多参数趋势图等,能于单一图形上呈现多面向的信息。例如:三合一图:多维度分析,结合时间趋势、分布与 ANOVA 检定结果,深入了解机台差异的关联分析。多合一图:用于比较多种不同数据尺度的制程参数,在相同X轴下的趋势变化。

图表直觉化设计

  • AYEDAS 系统可弹性根据各个数据字段分群绘图(譬如量测参数、生产站点、机台设备等),可以同时导出多张同型图表,达到分层分析的效果,并将严重程度不同的异常以颜色作区别,使用者能快速阅览所有分群图表。
  • 输出大图为交互式功能模式,用户可运用 Mouse Over、Zoom-in 等功能,轻易取得、编辑或输出图表上所有相关数据与统计指针信息。
  • 轻松设定图表刻度与编辑美化,可选择输出投影片或图档格式以供报告。
  • 用户于图表检视时如发现异常批号,可于 AYEDAS 系统直接储存异常批号清单,以便后续捞取该异常批号的其他历程数据,做深入的追踪分析。

变异分析

  • 制程变因的差异性分析是工程数据分析最常见的议题,在比较各种变异时(机台、站点、位置、时间、材料、参数等),将 QC 七大手法中的层别法融入于各式图表中,以最直观、一目了然的图表方式呈现变异发生的关键点。
  • 为了更客观判定变异是否存在,AYEDAS 系统可在统计图形上结合严谨的统计检定结果,让用户透过一张图形即可达成多样化分析。
  • AYEDAS 系统亦提供变异数分析(ANOVA, Multiple ANOVA),透过严谨的统计检定报表,找出人、机、料、法、环等众多制程变因中,对制程变异具有显著性影响的变因。

关联性分析

  • TYNE 独有设计的企业数据库,整合跨生产站别的人、机、料、法、环等数据,串前串后更简单,让使用者可以切入前后站制程的每一个环节查找问题原因。
  • 可轻松将机台维修保养(PM)纪录结合至量测数据与制程履历上,辅助使用者判断异常现象是否为机台维修保养处置所导致。
  • 透过相关系数的矩阵呈现,可快速从众多可疑参数中找出与良率相关性高的关键参数,加速找到问题症结并可立即进行处置,大幅降低异常所造成的损失。

共通性分析

  • 针对良品与不良品的制程履历资料,分析人、机、料、法、环各种制程因子的共通性,TYNE 独创的分析比较方式,让使用者在数秒内就能得到良率问题的根因。
  • 透过特殊 Time Line 分析,快速厘清良品与不良品在时间轴上是否具有共通性。

多变量分析

  • AYEDAS 系统提供多种多变量关联分析,包括 Decision Tree、 PLS Regression、Multi-Regression、Random Forest、Cluster… 等各式 Data Mining 等手法,针对高维度、多变量的数据,快速萃取有用的信息,找到关键因素。
  • 针对侦测到的异常批号,用多种分析手法,以高维度的多变量数据,Blind Search 的找出引起变异的制程因素。
  • 持续研发新高阶分析方法,协助使用者可以用最新的方法,发掘数据的价值。

半导体产业的晶圆图

  • BIN、Electrical Test、Defect 或 Inline 量测数据等数据,皆可逐片绘制成晶圆图,可单独检视每片晶圆的生产结果。
  • 可自由堆栈多片、多站的数据,绘制成复合晶圆图,以比较整批或整段制程的综合表现或集中性。
  • 可依据 BIN 与 Defect 两种资料的坐标对应关系,堆栈这两种数据于同一张晶圆图,以观察其相关性。
  • 若有 Defect 图片,则于晶圆图的相对位置显示标记,可直接点开实际 Defect 图片观看。

面板产业的面板图

  • AOI、Test、Defect 或 Inline 量测数据等数据,皆可逐片绘制成面板图,可单独检视每片面板的生产结果。
  • 即使同一片玻璃基板上,存在多种不同尺寸的面板,只要存在相关对应关系,皆可依据实际比例绘制成面板图。
  • 可自由堆栈多片、多站的数据,绘制成复合面板图,以比较整批或整段制程的综合表现或集中性。
  • 若有 Defect 图片,则于面板图的相对位置显示标记,可直接点开实际图片观看。

缺陷分析

  • AYEDAS 系统可将缺陷点与各种机台接触点迭加于图上,并进行吻合程度分析,以确认两者相关性。
  • 利用重复缺陷点分析,于绘制晶圆图或面板图时,额外提供缺陷点在各个位置的集中度,以检视缺陷点的分布是否具有位置集中性。
  • 利用缺陷源分析进行交叉比对,追溯出真正的缺陷点来源站点,以查找出最有可能产生缺陷的制程站点(段)。

智慧模板

  • 透过一连串的分析流程以厘清复杂的问题,并结合多种图表或报表来呈现分析的结果;运用 AYEDAS 独特的智能模板,用户可弹性自定义并储存分析流程剧本,以满足各式分析需求的处置逻辑。
  • 一键存取智能模板,可重复使用、分享与自动化排程执行分析,也可随时重新执行,即可获得最实时的分析结果。

个人化工作列表

  • 运用智能型设计,让使用者在执行日常重复性分析工作时,可建立个人化的工作清单 (Preference) 来简化 AYEDAS 系统操作步骤,提升工作效率。
  • 公司内部人可透过清单分享与共享,提升团队工作效率、节省系统资源,更易于新进人员的训练与经验传承,缩短新进人员的学习曲线。

排程与知识管理

  • 透过排程设定 (Schedule Job),可依据个人化工作列表,定期产生每日、每周、每月等所需的标准化分析图表与报表,用户可将有效运用时间做更有价值的工作安排。
  • 依排程设定所产出的分析结果,可呈现于内部共同的信息平台,易于内部人员的相互交流、讨论与报告,具有提升个人专业知识与经验的价值。

预测与监控

  • 针对指定 Model 做预测监控在制程段就能提前预测与监控量测值的表现,更快警示问题。
  • 预测模型的合适性监控,可利用差异检定做自动预警,以实时确认数据模型的合适性并予以调校。

维护成本最低

    资料
  • AYEDAS 兼具资料整合与分析的数据平台,只需以网址与权限,便可在世界各地远程访问生产数据、享用系统功能,以满足国际化、跨厂区、跨部门共享的便利性。
  • Thin-Client 搭配数据库的解决方案,即使存取庞大资料量,也不用受限于本机计算机的软硬件设备,与浏览网站一样便利。
  • 系统布属配置容易、维护便利、易于扩充,搭配整合性的 Online Help 功能、权限管理、系统使用管理与用户习惯分析等功能,在各方面皆能满足 IT 管理者的需求。

资料整合容易

  • TYNE 以超过二十年跨产业工程资料分析系统导入的经验,开发出最适合制造业的工程资料库与系统架构,可整合生产制造过程所触及的人、机、料、法、环等各种资料,满足所有独特分析需求、达到良率持续改善的目标。
  • 无论资料来自 MES、EAP 等资料库系统,或量测机台、检测机台、生产机台、扫描式电子显微镜等机台自动上抛的实体资料文件,或由传感器发出的数据资料,皆可完整汇整至 AYEDAS 资料库。
  • 弹性的系统架构,即使 AYEDAS 系统上线后有新增的资料型态欲整合至系统上,也能轻松扩充至 AYEDAS 资料平台。

易于管理的系统

  • 提供完整的用户权力控管机制,让系统管理员可轻易新增/删除/修改使用者账号、使用者群组、可存取的资料范围、可使用的系统功能等,不用因内部人员异动而烦恼。
  • 提供用户自行调整个人化工作列表与排程设定,不必透过 IT 部门也可自行产生定期性报表,有效利用工作时间。

极佳的效能表现

  • 对于高度自动化的资料类型,可透过 ETL 程序 (Extract-Transform-Load),将资料自动、定期、大量且流畅地汇整至 AYEDAS 资料库。
  • 针对 EDA/YMS 系统需要经常性大量资料存取及运算的特性,TYNE AYEDAS 提供了特殊设计,以最佳的效能反应,让 AYEDAS 系统整体运作快速且具高稳定性,充分展现优异的系统效能,提供用户卓越的专业享受。